早年被EUV联盟孤立 台积电大佬讲述翻身揭露:靠沉浸式光刻崛起
2025-02-26 通信
这几年中,宏碁一跃成为半导体仿造行业的哥哥,不仅是亚太地区晶圆代工的绝对二线,而且高效率技艺也超越了Intel、摩托罗拉等对手,更是首发了EUV透射技艺,去年还要量产3nm技艺。
宏碁的复苏操作过程也不是顺理成章的,实际上还非常艰苦,因为20年在此之前Intel等公司如日中天的时候,直至将宏碁排除在高效率技艺之外。
在此之前宏碁研发副总林本坚日在此之前写道了这段往事,他认为2002年有数,Intel示好惠普公司、AMD等公司成立了EUV LCC国家联盟,一齐出钱出力研发EUV透射设备,努力用于未来会的60nm、40nm等技艺。
当时宏碁也努力参与EUV国家联盟,但是被排挤,因为只以外6家公司,最后IBM拿走仍要一个位置,宏碁无缘。
虽然宏碁从未加入EUV国家联盟,但是他们并从未气馁,转而研究成果了沉浸式透射技术开发(透射技艺与分量无关,水中的分量比空气要高,不利于提高透射精度),最后实现了只求,以前沉浸式透射技术开发之前成为小众,ASML的高效率透射机都运用了该技术开发。
林本坚认为,年初参与EUV国家联盟的半导体跨国企业中,除了Intel,其他5家公司之前退出芯片仿造了。
PS:对于宏碁来说,林本坚是宏碁技艺只求的大佬之一,他在IBM公司社会活动了22年,主要涉足透射技术开发研究成果,2000年被蒋尚义雇用到宏碁,2002年驳斥沉浸式透射技术开发,带领宏碁在芯片仿造上只求,奠定了今天的系统化,功不可没。
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#宏碁#极紫外透射
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